书目详细信息
： 微电子技术工程:材料、工艺与测试
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-120-00021-7:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子技术工程/.刘玉岭,檀柏梅,张楷亮编著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2004.10 |
| 载体形态项： | 11,646页:;+26cm |
| 丛编项： | 微电子技术系列丛书 |
| 提要文摘： | 本书介绍了微电子技术衬底材料性能、加工工艺与测试技术；共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 刘玉岭 (1942~) 编著 |
| 个人名称等同： | 檀柏梅 编著 |
| 个人名称等同： | 张楷亮 编著 |
| 记录来源： | CN LCDUT-LS 20060313 |