ISBN/价格: | 7-04-016880-4:CNY40.20 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 微纳米加工技术及其应用/.崔铮著 |
出版发行项: | 北京:,高等教育出版社:,2005.6 |
载体形态项: | 10,293页:;+图:;+24cm |
提要文摘: | 本书系统地介绍了微纳米技术的基础,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型工艺参数,充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项。 |
并列题名: | Micro-Nanofabrication Technologies and Applications eng |
题名主题: | 纳米材料 新技术应用 |
题名主题: | 纳米材料 |
题名主题: | 新技术应用 |
中图分类: | TB383 |
个人名称等同: | 崔铮 著 |
记录来源: | CN LCDUT-LS 20060522 |