书目详细信息
： 微纳米技术及其应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-03-015288-3:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米技术及其应用/.李德胜,关佳亮等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2005 |
| 载体形态项： | 10,285页:;+24cm |
| 一般附注： | 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版 |
| 提要文摘： | 本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。 |
| 题名主题： | 纳米材料 新技术应用 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 新技术应用 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 李德胜 编著 |
| 个人名称等同： | 关佳亮 编著 |
| 记录来源： | CN LCDUT-LS 20061115 |