书目详细信息
： 集成电路(IC)制程简论
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-20959-1:CNY33.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路(IC)制程简论/.田民波编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 15,244页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 新材料及在高技术中的应用丛书 |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Brief introduction to IC process |
| 提要文摘： | 本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。 |
| 并列题名： | Brief introduction to IC process eng |
| 题名主题： | 集成电路 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 田民波 (材料科学) 编著 |
| 记录来源： | CN LCDUT-LS 20100426 |