书目详细信息
： 半导体芯片制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-15396-9:CNY25.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体芯片制造技术/.杜中一主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 152页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 工业和信息产业职业教育教学指导委员会“十二五”规划教材 高等职业教育规划教材·微电子技术专业系列 |
| 提要文摘： | 本书介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积等。 |
| 题名主题： | 芯片 半导体工艺 高等职业教育 教材 |
| 题名主题： | 芯片 |
| 题名主题： | 半导体工艺 |
| 中图分类： | TN430.5 |
| 个人名称等同： | 杜中一 主编 |
| 记录来源： | CN ZCMK讀書圖心Marc工作室Q478799437 20140541 |