ISBN/价格: | 978-7-121-15396-9:CNY25.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 半导体芯片制造技术/.杜中一主编 |
出版发行项: | 北京:,电子工业出版社:,2012 |
载体形态项: | 152页:;+图:;+26cm |
一般附注: | 工业和信息产业职业教育教学指导委员会“十二五”规划教材 高等职业教育规划教材·微电子技术专业系列 |
提要文摘: | 本书介绍了半导体芯片制造技术,内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积等。 |
题名主题: | 芯片 半导体工艺 高等职业教育 教材 |
题名主题: | 芯片 |
题名主题: | 半导体工艺 |
中图分类: | TN430.5 |
个人名称等同: | 杜中一 主编 |
记录来源: | CN ZCMK讀書圖心Marc工作室Q478799437 20140541 |